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微陣列晶圓掃描儀
(HC-WS01)(R)

HC-WS01(R)

                  全晶圓掃描——高通量平台

全晶圓影像擷取

  • 影像解析度：20000 x 20000 (~1.6GB), 10um/pixel

  • 影像格式：TIFF
     

BioImageAnalyzerFor6inchWafer.png

全晶圓影像分析

  • 自動對齊與分析

  • 解析度：2, 5, 10, 40 μm

  • 雷射激發波長：532 nm 和 635 nm

  • 雷射功率：

  • 532 nm：13+/-10% mW

  • 635 nm：13+/-10% mW

  • 熒光染料: Cy3 和 Cy5

  • 晶圓尺寸：4”~12” Si/Glass 晶圓

  • 掃描區域：整個晶圓

  • 容量：1 個晶圓/次

  • 感測器：2 個光電倍增管 (PMT)

  • 掃描速度：21 分鐘 @10 μm/pixel (8"晶圓)

  • 靈敏度：<0.2 螢光子/μm²

  • 動態範圍：10⁴

  • 訊號格式：TIFF

  • 操作軟體（BioScan control & BioImage Analyzer）

WaferImage_03.png

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