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微陣列晶圓掃描儀
(HC-WS01)(R)
HC-WS01(R)
全晶圓掃描——高通量平台
全晶圓影像擷取
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影像解析度:20000 x 20000 (~1.6GB), 10um/pixel
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影像格式:TIFF
全晶圓影像分析
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自動對齊與分析
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解析度:2, 5, 10, 40 μm
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雷射激發波長:532 nm 和 635 nm
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雷射功率:
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532 nm:13+/-10% mW
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635 nm:13+/-10% mW
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熒光染料: Cy3 和 Cy5
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晶圓尺寸:4”~12” Si/Glass 晶圓
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掃描區域:整個晶圓
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容量:1 個晶圓/次
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感測器:2 個光電倍增管 (PMT)
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掃描速度:21 分鐘 @10 μm/pixel (8"晶圓)
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靈敏度:<0.2 螢光子/μm²
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動態範圍:10⁴
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訊號格式:TIFF
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操作軟體(BioScan control & BioImage Analyzer)
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